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应能排走水环真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量

对于水环真空泵的生产过程管理,公司利用各方面的管理优势,以体现这些整体性能的表现力,从不断扩充的整体设备性能来说,对于水环泵的生产一定要加强各环节的有利表现,制定出一套比较符合实际的应用工艺,在加大整个实用性能的扩展中,提高各方面技术水平的提高,将有利的一面表现的到位,从整体上来提高产品各方面的品质。 面对水环真空泵的加工过程,也要根据公司各方面的严格要求来进行对产品负责的一种态度,做为应用性能较强的整体表现,该设备的应用优势比较强大,适应各种不同的工况需求,这也正是产品迅速发展的一个有利条件。正确地选择(水环)真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为 10~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。 (水环)真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

 
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